酸化マグネシウム単結晶基板

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海から生まれた神秘のクリスタル 「ミラクリスタR」は、純度99.9%以上の世界で最も大きな酸化マグネシウム単結晶です。優れた耐スパッタ性、電気絶縁性、熱伝導性、光学特性をもっており、各種薄膜形成用基板の先端技術分野で幅広く使用されています。

酸化マグネシウム単結晶基板 MIRACRYSTAR®

特長

酸化マグネシウム単結晶の大型化は、高融点で蒸気圧が高いことから困難とされてきました。
しかし、酸化マグネシウムの専門メーカーであるタテホ化学工業株式会社は1968年に、独自の電融技術、結晶化技術により、世界で始めて大型単結晶の工業化に成功しました。
現在、純度99.9%以上の世界で最も大きな酸化マグネシウム単結晶「MIRACRYSTAR®」を生み出しています。
「MIRACRYSTAR®」は、優れた耐スパッタ性、電気絶縁性、熱伝導性、光学特性をもっており、各種薄膜形成用基板の先端技術分野で幅広く使用されています。

  1. 「MIRACRYSTAR®」は、表面平滑性に優れた基板である
  2. 「MIRACRYSTAR®」は、高温で膜と反応しない
  3. 「MIRACRYSTAR®」は高耐熱性および高絶縁性である
  4. 「MIRACRYSTAR®」を用いると、エピタキシャル膜を作りやすい
  5. 「MIRACRYSTAR®」の格子定数や熱膨張係数は、膜とのマッチングが良い
  6. 「MIRACRYSTAR®」は、光の透過性が良いので、膜に対する光学測定が可能

酸化マグネシウム用途例

  • 高温超伝導膜形成用基板(通信や宇宙観測に用いられるフィルタ、YBCO膜)
  • 強誘電体膜形成用基板(温度計や温調器に用いられる赤外線センサー、PZT膜)
  • ダイヤモンド成長用基板
  • 磁性膜形成用基板(MRAM、TMR膜)
  • スパッタ用ターゲット材
型番
MIRACRYSTAR® SSC#1
価格
数量により御相談に応じます

寸法及び化学成分(代表値)

サイズ
標準品
10mm ×10mm ×0.5mmt
長さ公差 +0.4mm/-0.0mm
厚み公差 ±0.02mm

101.6φmm×0.5mm まで御相談に応じます。

面方位
標準品 (100)
面方位精度 ±0.5°

(110), (111)その他の方位については御相談に応じます。

研摩
両面研磨
表面粗さ(Ra) < 0.5nm
化学成分
  • MgO > 99.9%
  • Ca 200ppm
  • Si   10ppm
  • Al   60ppm
  • Fe  70ppm
  • B   10ppm

□ ICP発光分光分析法

※代表値であり保証値ではありません

特性

物質名 酸化マグネシウム
化学式 MgO
CAS登録番号 1309-48-4
結晶構造 立方晶系(NaCl型)
格子定数 (10-10m) 4.214
密度 (103kg・m-3) 3.58
比熱 (J・kg-1・K-1) 970
融点 (K) 3098
誘電率 (ε, R.T.14〜16GHz) 9.85
誘電正接
(tanδ;R.T.14〜16GHz)
7.8×10-6
熱膨張係数 (10-6・K-1) 13.5
透過波長域 (μ) 0.3〜7.0
熱伝導率 (W・m-1・K-1) 60
電気抵抗率 (Ω・cm) 1014
硬度 (Mohs) 6
弾性率 (GPa) 245
圧縮強度 (MPa) 618
曲げ強度 (MPa) 186

※代表値であり保証値ではありません

 


会社概要

タテホ化学工業株式会社

資本金
450百万円
従業員
約270人
設立
1966年

ISO9000、ISO14000取得

「地球を愛する新素材を…タテホはこう考えています」

瀬戸内海の温暖な気候と豊かな海水資源に育まれた街 - 赤穂(あこう)からタテホ化学工業は生まれました。
赤穂における塩業の歴史は遠く奈良時代にまで遡り、1966年、弊社はこの営々たる人類の知恵を受け継ぎ、海水から食塩を分離した後に残る苦汁(にがり)を有効活用し、広く人間社会に役立つ新素材を提供する技術集団として設立されました。
独自の結晶コントロール技術をベースに、酸化マグネシウム、水酸化マグネシウム、電融酸化マグネシウム、酸化マグネシウム単結晶、難燃剤事業、セラミック事業等を展開し、高機能製品の国際的な供給を続けております。
「自然環境と共生し オンリーワン技術で世界をリードする 開発型企業を目指す」を経営スローガンとし、今後も環境に対する姿勢を変えることなく持ち続け、独自技術に更に磨きをかけ、地球規模で産業界に貢献してまいります。

酸化マグネシウム単結晶製品"ミラクリスタ®"について以下の特許を出願しています。

日本国特許番号
  • 4686181
  • 4676796
米国特許番号
  • US7544345B2
  • US7691200B2
韓国特許番号
  • 10-0883228
  • 10-0895118
中国特許番号
  • ZL200580045352.8
  • ZL200680009667.2

電気溶融

電気溶融
厳選した原料を電気で溶かし、当社独自の技術で結晶を育成します。

単結晶塊

単結晶塊
世界で最大の酸化マグネシウム単結晶塊を取り出します。

研磨加工

研磨加工
単結晶塊を切断し、研磨加工を行って、表面を仕上げます。

単結晶基板

単結晶基板
各種検査を行って製品となります。
4インチまでの基板が製造できます。